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高溫淬火制程實驗方法-實驗型專業顯微鏡
高溫淬火制程對提純冶金硅的影響
實驗方法
矽塊粉碎及篩選
強力磁選機磁選
清洗烘乾
熱淬處理
超音波震盪
清洗烘乾
ICP-OES
成份分析檢測
選用 2202 冶金級矽塊，先經粉碎機粉碎后作為此實驗之矽粉原料。由于粉碎
矽粒尺寸不均勻及存在鋼刀磨耗鐵屑殘留的情形，故先以篩網分篩出粒徑 0.25~0.5 mm
的矽粉，再經由強力磁選機磁選以減低鐵之殘留量，最后使用無水酒精與超純水震盪清
洗、烘乾，始成為實驗之矽粉原料。


熱淬處理制程是將矽粉放入熱處理爐升溫，當矽粉達到設定溫度后迅速取出倒入溶
液中冷卻，以www.aosvi.com 達到淬火之目標。以 2M 鹽酸溶液分冸進行高溫水淬再酸洗、


直接高溫淬酸；以及選用 0.5 M 草酸直接進行矽粉的高溫熱淬，因草酸對晶界的腐蝕性佳。清洗流
程乃將試樣放入溫度設定為 20 ℃ 之恒溫超音波震盪機中震盪，以冺酸液充分釋出，


然后再使用超純水將矽粉徹底洗淨、烘乾，最后以 ICP-OES 進行成份分析