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等離子化學反應過程

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1)電場+電子一高速電子+高速離子
(2)電子+分子（或原子）一（受激原子、受激基團、游離基團）活性基團
(3)活性基團+分子（原子）一生成物+熱
(4)活性基團+活性基團一生成物+熱

過程一：高能電子直接轟擊

過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片02+2e→0．
02+0．→03+e
H20+2e→H．+HO．
H20+O.+e-÷2HO．
H．+  02→HO．+0
C(a+b)H(m+n)O(x+y)+2  e→CaHmOx.+CbHnOy

將絕緣介質插入放電空間的一種氣體放電。介質可以覆蓋在電極上，也可以懸掛在放電空間里，當在放電電極間施加一定頻率（50  MHz至幾K赫茲）的-  Kv的交流電壓時，電極間的氣體就會被擊穿產生碳阻擋氣體放電。在大氣壓或高于大氣壓條件下，間隙內的氣體放電由許多在時間上和空間上隨機分布的微放電構成，這些微放電的持續時間很短，一般為納秒量級【20】。由實驗觀察，微放電通常呈現一些相當均勻的圓柱型微通道，每一個微通道就是一個強烈的流光放電擊穿過程，帶電粒子的輸運過程及等離子體化學反應就發生在這些微放電通道內。因此一些研究者將微放電作為碳等離子體的主要特性，并通過研究微放電的性質來研究碳等離子體的整體特性。從碳的物理過程來看，電源電壓通過電介質電容耦合到放電間隙形成電場，空間電子在這一電場作用下獲得能量，與周圍氣體發生非彈性碰撞，電子從外加電場取得能量轉移給氣體分子，氣體被激勵后，發生電子雪崩，出現了相當數量的空間電荷。